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產品中心三維光學輪廓儀BRUKER白光干涉光學輪廓儀ContourX-200布魯克輪廓儀：中小量程測量優選
產品簡介
布魯克輪廓儀：中小量程測量優選在精密測量領域，并非所有場景都需要超大量程的檢測設備，中小量程的精準測量需求同樣廣泛。無論是電子元器件的微小表面檢測，還是科研實驗中局部微觀結構的分析，都需要一款適配性強、性能可靠的測量儀器。ContourX-200 三維光學輪廓儀，正是針對這類需求打造，憑借緊湊設計與穩定性能，成為中小量程測量場景的理想選擇。
產品分類
參數 | 詳情 |
最大掃描量程 | ≤5 mm |
垂直分辨率 | ＜0.02 nm |
水平分辨率 | 0.5 μm（Sparrow 準則） |
臺階高度準確性 | ＜1.0% |
臺階高度重復性 | ＜0.2% 1 sigma repeatability |
最大掃描速度 | 25 μm/sec（標準攝像頭配置） |
樣品反射率范圍 | 0.1% 到 100% |
最大樣品傾角 | ≤35°（光滑表面）；≤80°（粗糙表面） |
樣品高度 | ≤80 mm（3.15 in.） |
XY 樣品臺 | 100 mm（4 in.）手動調節樣品臺（可選配半自動編碼器） |
Z 軸聚焦 | 手動 / 半自動可選 |
傾斜功能 | ±3° 手動調節 |
光學計量模塊 | 定制化單色 LED 照明；單物鏡適配器；可選手動物鏡轉盤 |
物鏡 | Parfocal: 5X, 10X, 20X, 50X；LWD: 2X, 5X, 10X |
放大器 | 0.75X, 1X, 1.5X |
攝像頭 | 單色（標準）；3 MP with 800×600 data array |
軟件系統 | VisionXpress 基礎版分析軟件（兼容 Windows 10 OS；32/64-bit） |
自動測量功能 | 可選配半自動掃描、自動聚焦（需升級模塊） |
校準 | 通過 NIST/PTB 可追溯臺階高度與橫向標尺標準 |
設備尺寸 | 400 mm（W）x 520 mm（D）x 650 mm（H） |
重量 | 55 kg |
保修期 | 12 months |
設備啟動與準備：將儀器放置在水平工作臺面，連接電源與電腦（需安裝配套軟件），打開設備開關與軟件系統。等待儀器自檢完成（約 2-3 分鐘），期間避免觸碰樣品臺與光學部件。清潔樣品表面，去除灰塵、油污等雜質，防止影響測量結果。
樣品放置與定位：根據樣品尺寸，調整樣品臺夾具（若樣品較小，可使用專用載物片固定），將樣品平穩放置在樣品臺中央。通過手動旋鈕移動樣品臺，配合軟件中的實時圖像，將待測量區域調整至視野中心，確保成像清晰。
參數設置與測量：在軟件中選擇測量模式（手動 / 半自動），設置掃描量程（建議根據樣品預估高度差選擇，避免量程過大影響效率）、分辨率等參數。點擊 “開始測量"，儀器將自動（或半自動）完成掃描，過程中保持環境穩定，避免震動與強光直射。
數據處理與保存：測量完成后，軟件將自動生成三維形貌圖與相關參數（如粗糙度 Ra、Rz 等）。可利用軟件中的分析工具進行數據篩選、標注，生成測量報告。確認數據無誤后，選擇合適格式（如 Excel、圖片格式）保存報告，便于后續分析與存檔。